Bruker白光干涉儀是用于對(duì)各種精密器件表面進(jìn)行納米級(jí)測(cè)量的儀器，它是以白光干涉技術(shù)為原理，光源發(fā)出的光經(jīng)過(guò)擴(kuò)束準(zhǔn)直后經(jīng)分光棱鏡后分成兩束，一束經(jīng)被測(cè)表面反射回來(lái)，另外一束光經(jīng)參考鏡反射，兩束反射光終匯聚并發(fā)生干涉，顯微鏡將被測(cè)表面的形貌特征轉(zhuǎn)化為干涉條紋信號(hào)，通過(guò)測(cè)量干涉條紋的變化來(lái)測(cè)量表面三維形貌。

　　Bruker白光干涉儀的維護(hù)：

　　1、使用時(shí)，各調(diào)整部位用力要適當(dāng)，不要強(qiáng)旋、硬扳。

　　2、導(dǎo)軌面絲桿應(yīng)防止劃傷、銹蝕，用畢后，仍保持不失油狀態(tài)。

　　3、經(jīng)過(guò)精密調(diào)整的儀器部件上的螺絲，都涂有紅漆，不要擅自轉(zhuǎn)動(dòng)。

　　4、傳動(dòng)部件應(yīng)有良好的潤(rùn)滑。特別是導(dǎo)軌、絲桿、螺母與軸孔部分，應(yīng)用T5精密儀表油潤(rùn)滑。

　　5、儀器應(yīng)妥善地放在干燥、清潔的房間內(nèi)，防止振動(dòng)，儀器搬動(dòng) 時(shí)，應(yīng)托住底座，以防導(dǎo)軌變形。

　　6、光學(xué)零件不用時(shí)，應(yīng)存放在清潔的干燥盆內(nèi)，以防止發(fā)霉。反光鏡、分光鏡一般不允許擦拭，必要擦拭時(shí)，須先用備件毛刷小心撣去灰塵，再用脫脂清潔棉花球滴上酒精混合液輕拭。

　　Bruker白光干涉儀基本原理：

　　是用于對(duì)各種精密器件表面進(jìn)行納米級(jí)測(cè)量的儀器，它是以白光干涉技術(shù)為原理，光源發(fā)出的光經(jīng)過(guò)擴(kuò)束準(zhǔn)直后經(jīng)分光棱鏡后分成兩束，一束經(jīng)被測(cè)表面反射回來(lái)，另外一束光經(jīng)參考鏡反射，兩束反射光終匯聚并發(fā)生干涉，顯微鏡將被測(cè)表面的形貌特征轉(zhuǎn)化為干涉條紋信號(hào)，通過(guò)測(cè)量干涉條紋的變化來(lái)測(cè)量表面三維形貌。

　　Bruker白光干涉儀的特點(diǎn)：

　　1、非接觸式測(cè)量：避免物件受損。

　　2、三維表面測(cè)量：表面高度測(cè)量范圍為 1nm ---200μm。

　　3、多重視野鏡片：方便物鏡的快速切換。

　　4、納米級(jí)分辨率：垂直分辨率可以達(dá)0.1nm。

　　5、高速數(shù)字信號(hào)處理器：實(shí)現(xiàn)測(cè)量?jī)H需幾秒鐘。

　　6、掃描儀：閉環(huán)控制系統(tǒng)。

　　7、工作臺(tái)：氣動(dòng)裝置、抗震、抗壓。

　　8、測(cè)量軟件：基于windows 操作系統(tǒng)的用戶界面，強(qiáng)大而快速的運(yùn)算。